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Beim Einzelpuls bohren erzeugt ein einzelner Laserpuls mit vergleichsweiser hoher Pulsenergie die Bohrung. Auf diese Weise lassen sich sehr schnell viele Löcher erzeugen. Dieses Verfahren wird oft zur Herstellung von Filtern mit geringen Wandstärken bis ca 1mm Dicke angewendet. Beim Perkussionsbohren entsteht die Bohrung durch mehrere aufeinander folgende Laserpulse mit geringerer Pulsdauer und Pulsenergie. Dieses Bohrverfahren liefert tiefere und präzisere Löcher als das Einzelpulsbohren. Perkussionsbohren ermöglicht Lochdurchmesser von 0,02 bis 0,4 mm und Bohrtiefen bis 10mm. Zum Laserbohren eignen sich hochtemperaturfeste Werkstoffe wie Hastelloy, Wolfram, Molybdän und alle Arten von Edel- und Buntmetallen. Auch Keramische Werkstoffe wie Saphir, Rubin, Diamant oder Aluminiumoxyd und verwandte Werkstoffe lassen sich mit dem Laser bohren.