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Sputter-Beschichtungen (PVD)

Sputter-Beschichtungen (PVD)

Alle handelsüblichen Metalle - von Aluminium bis Tantal Alle Metallnitride wie Aluminiumnitrid, Chromnitrid, Titannitrid etc. Oxide wie Aluminiumoxid, Siliciumiumoxid, Chromoxid etc. Metallcarbide wie Titancarbid oder Wolframcarbid
Kombinierter Korrosions- und Verschleißschutz

Kombinierter Korrosions- und Verschleißschutz

Im chemischen Apparatebau werden Komponenten unter extremen Bedingungen eingesetzt, denen fallweise eine Schicht aus SilCor® Siliziumkarbid besser widerstehen kann als eine DLC Beschichtung. Dies betrifft insbesondere den Einsatz bei Temperaturen oberhalb 400 Grad Celsius, wo SiC beschichtete metallische Komponenten ähnlich gutes Verhalten wie massive Keramik aufweisen. Durch die hohe Oberflächengüte und die geringe Oberflächenenergie wird zusätzlich die Bildung von Belägen reduziert. Diese Eigenschaften zusammen mit der hohen Härte machen die Siliciumcarbidschicht auch für die Erdöl und Erdgas fördernde Industrie attraktiv. Innenbeschichtung: Ein Rohr aus Edelstahl (Innendurchmesser 160 mm, in der Beschichtungskammer - links) sowie Flanschbauteile aus Stahl (Innendurchmesser 65 mm - rechts) die durch gezielte Gasführung und Plasmaanregung innen mit SiC beschichtet sind. Währen im Innern eine dicke Schicht wächst, die - je nach Dicke und Zusammensetzung - oberhalb einiger µm braun bis schwarz erscheint, werden im Außenbereich nur einige Zehntel µm abgeschieden, die farbige Interferenzmuster bilden.