Thermische Massenflussmessung und -Regelung von Teledyne Hastings Instruments
Thermische Massenflussmessung und -Regelung
Wesentliche Eigenschaften*:
Mess- und Regelbereiche:
+ Durchflussmesser: 0 – 5 sccm bis zu 0 – 15,000 slm (N2 Äquivalent)
+ Durchflussregler: 0 – 5 sccm bis zu 0 – 10,000 slm (N2 Äquivalent)
+ Hohe Messgenauigkeit: ab ±(0.2% vom Endwert + 0.5% vom Messwert)
+ Hohe Reproduzierbarkeit: ab ±0.05% vom Endwert
+ Kurze Ansprechzeiten
+ Geringer Druckabfall
+ Metall- oder Elastomer-gedichtet
+ Hohe Druckfestigkeit: bis zu 34 bar oder höher (68 bar optional)
+ Spannungsversorgung: 11-36 VDC unipolar oder bipolar (z.B. +24 VDC, ±15 VDC)
+ Analogausgänge: 0-5V, 0-10V, 0-20 mA, 4-20 mA
+ Sollwertvorgabe: 0-5V, 0-10V, 0-20 mA, 4-20 mA
+ Digitale Schnittstellen: RS232, RS485, USB
+ Mechanische Anschlüsse: Swagelok, VCR, VCO, oder Flansch
+ NIST-rückführbare Kalibrierung
*abhängig von der Baureihe