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Das Fraunhofer ENAS bietet Forschungs- und Entwicklungsdienstleistungen auf dem gesamten Spektrum halbleiter- und nanotechnologischer Prozesse für die Herstellung und Integration elektronischer, optischer und mechanischer Mikro- und Nanobauelemente. Dafür werden Einzelprozesse weiterentwickelt, vor allem aber Prozess- und Technologieintegrationskonzepte auf- und umgesetzt. Zu den Schwerpunkten zählen fortgeschrittene Strukturierungsprozesse auf Basis mikro- und nanolithografischer Verfahren, einer Vielzahl unterschiedlicher Trockenätzprozesse von reaktivem Ionenätzen (RIE) bis zu Gasphasenätzen sowie Nassätz- und Reinigungsprozessen. Hervorzuheben sind die Elektronenstrahl- sowie die Nanoimprintlithiografie (NIL) mit denen Strukturabmessungen unterhalb von 50 nm für industrierelevante Anwendungen flexibel aber kosteneffektiv hergestellt werden können. Des Weiteren steht ein großes Spektrum an Abscheideprozessen zur Verfügung, um die notwendige Materialvielfalt zu gewährleisten. Von Atomlagenabscheidung, über herkömmliche PE-, LP- und MOCVD-Prozesse, Hochtemperaturprozesse, die elektrochemische Abscheidung (ECD), Elektronenstrahlverdampfen bis zu spezifischen Sputterprozessen können auf 150 und 200 mm Substraten viele Funktionsmaterialien genutzt werden. Abgerundet wird das Prozessportfolio durch Prozesse zur Oberflächenbehandlung und Substratbearbeitung. Dafür stehen mehrere Anlagen für das Chemisch-Mechanische Polieren (CMP), das Schleifen (Grinding) und das Spinätzen zur Verfügung. Für die Realisierung von Systemen stehen darüber hinaus die Prozesse des MEMS-Packaging sowie eine große Zahl an Inline-Metrology und Messtechniktools zur Verfügung.

Die CARNET-Software ist modular und jederzeit erweiterbar. Wir sorgen dafür, dass sie mit Ihren bestehenden Anwendungen kompatibel und so flexibel ist, dass sie mitwächst, auch wenn sich Ihre Anforderungen ändern. Qualifizierte Projektleiter mit langjähriger Erfahrung in der Software-Entwicklung können den Umfang Ihrer Projekte realistisch einschätzen. Ihr Vorteil: Sicherheit und ein langfristiger Investitionsschutz für Ihr Unternehmen. Sollten Sie doch einmal nicht mehr mit unserer Leistung zufrieden sein, übergeben wir Ihnen nach Beendigung unserer Zusammenarbeit Daten, Inhalte und Quellcode der für Sie entwickelten Software.

◦ Analog-und Digital-Schaltungsentwicklung ◦ Schaltreglerdesign bis 48V DC ◦ Mikrocontroller und FPGA Design ◦ Leiterplattendesign ◦ mechanische 3D-Konstruktion rund um die Leiterplatte mit SolidWorks ◦ EMV-gerechtes Design ◦ individuelle LabView-Lösungen ◦ Requirements Engineering ◦ entwicklungsbegleitende EMV-Prüfung in akkreditierten Laboren ◦ Bedienfoliendesign

Im heutigen Arbeitsalltag sind mobile Geräte wie z. B. Roboter oder FTS oftmals unabdingbar. Die FusionSystems GmbH bietet Ihnen die Dienstleistung an, Ihre mobilen Fahrzeuge an die für Sie notwendigen Erfordernissen anzupassen. Wir konfigurieren die Fahrzeuge so, dass sie in der Lage sind, Objekte zu erkennen. Das heißt, die Technik erkennt Gegenstände und ordnet diese bekannten Objektklassen zu. Ist es in Ihrem Unternehmen beispielsweise notwendig Kisten mit Werkstücken von A nach B zu transportieren, so ist das Fahrzeug in der Lage eine Kiste als solche zu erkennen, sie fachgerecht und sicher aufzunehmen und zu transportieren. Die Einsatzmöglichkeiten sind vielfältig: So kann das Fahrzeug in der Lage sein, nichtmotorisierte Transportwagen zu erkennen und diese selbständig anzuhängen und diese zum Bestimmungsort zu bringen.