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Vakuumkammer zur Optimierung der Beschichtung Vakuumkammern sorgen für eine zusätzliche Stabilität am Meniskus beim Übergang der Beschichtungsflüssigkeit von der Düse auf das Substrat. Dadurch können höhere Bandgeschwindigkeiten erzeugt und ein sauberes Querprofil erreicht werden. Der Preis hängt vom Material und der Grösse der Vakuumkammer ab.