Interferometer
Polychromatisches Licht wird auf eine transparente Oberfläche projiziert. An jeder Grenzfläche wird ein Teil des auftreffenden Lichts reflektiert. Es tritt eine Phasenverschiebung auf, die mit der Wellenlänge variiert. Bei bestimmten Wellenlängen tritt konstruktive, bei anderen Wellenlängen destruktive Interferenz auf. Wird die Intensität des Interferenzsignals über die Wellenzahl aufgetragen, kann daraus die optische Weglänge bestimmt werden. Aus der optischen Weglänge und dem Brechungsindex errechnet sich die Schichtdicke.
Verfügbare Modelle:
MODELL
AUFLÖSUNG
MESSBEREICH
ARBEITSABSTAND
SPOTGRÖSSE
INT-180 (WL)
0,01 µm
0,39 µinch
3 µm – 180 µm
0,12 mils – 7,09 mils
9,5 mm
0,37 inch
10 µm
0,4 mils
IT-500 (IR)
0,14 µm
5,51 µinch
37 µm – 4700 µm
1,46 mils – 185,0 mils
39,7 mm
1,56 inch
13 µm
0,5 mils
IT-500 RW (IR)
0,17 µm
6,69 µinch
45 µm – 5600 µm
1,77 mils – 220,5 mils
39,7 mm
1,56 inch
13 µm
0,5 mils
IT-1000 (IR)
0,25 µm
9,84 µinch
64 µm – 8200 µm
2,52 mils – 322,8 mils
39,7 mm
1,56 inch
13 µm
0,5 mils
IT-1000 RW (IR)
0,22 µm
8,66 µinch
57 µm – 7300 µm
2,24 mils – 287,4 mils
39,7 mm
1,56 inch
13 µm
0,5 mils
IT 18-3000 (IR)
0,09 µm
3,54 µinch
18 µm – 3000 µm
0,71 mils – 118,1 mils
39,7 mm
1,56 inch
13 µm
0,5 mils
IT 150-15000
0,45 µm
17,72 µinch
150 µm – 15000 µm
5,91 mils – 590,6 mils
39,7 mm
1,56 inch
13 µm
0,5 mils
IT TW (IR)
0,01 µm
0,39 µinch
4 µm – 300 µm
0,16 mils – 11,81 mils
39,7 mm
1,56 inch
13 µm
0,5 mils
IT DW (IR)
0,06 µm
2,36 µinch
15 µm – 2000 µm
0,59 mils – 78,74 mils
39,7 mm
1,56 inch
13 µm
0,5 mils