Untersuchungen mittels Rasterelektronenmikroskopie mit EDX-Mikroanalysensystem

Mit Hilfe der Rasterelektronenmikroskopie können kleinste Partikel und Oberflächen untersucht werden. Die EDX-Analyse liefert die zugehörigen Element-Zusammensetzung der Mikroproben. Mit dem Rasterelektronenmikroskop können Oberflächen mit einer Vergrößerung von 10-fach bis 50 000-fach abgebildet werden. Bei der Relektronenmikroskopie wird ein gebündelter Elektronenstrahl Zeile um Zeile über die Oberfläche der Probe geleitet. Der Impakt der auftreffenden Elektronen (Primärelektronen, PE) führt zu Wechselwirkungen mit dem Probenmaterial, wodurch messbare Signale (Sekundär- und Rückstreuelektronen, Röntgenstrahlung) erzeugt werden. Der Informationsgehalt dieser Signale wird elektronisch verarbeitet und als Bild dargestellt. Abhängig von den eingesetzten Detektoren können mittels REM nicht nur Oberflächenansichten mit starker Vergrößerung erzeugt, sondern auch Materialunterschiede bildlich dargestellt werden. Die charakteristischen Röntgenstrahlen, die beim Auftreffen der Primärelektronen auf die Probenoberfläche entstehen, bieten zusätzlich die Möglichkeit, Angaben über die Elementzusammensetzung von visuell lokalisierbaren Mikrobereichen einer Probe zu machen (Röntgen-Mikrobereichs-Analyse, EDX). Mit Hilfe des EDX-Systems lassen sich alle Elemente von Kohlenstoff bis Uran nachweisen. Dabei darf die Probe bis zu einem Mikrometer klein sein. Selbst dann erhält man noch ein einigermaßen qualitativ auswertbares Spektrum. Unter bestimmten Voraussetzungen (polierte, homogene Probe) lassen sich auch quantitative Messungen durchführen. Die Rasterelektronenmikroskopie mit EDX-System ist ein akkreditiertes Verfahren im Hause ACL. Ein klassischer Einsatzbereich der REM ist die Schadensanalyse. Rissbildung in Werkstücken, Korrosion, Bruchtopografie, Oberflächenkontamination sind nur einige der Stichworte, die die vielfältigen Einsatzmöglichkeiten der REM unterstreichen sollen.