Kryopumpen und Wasserdampffallen (Meissnerfallen)

Kryopumpen für ölfreies Vakuum Kältefallen (Meissnerfallen) bei zu hohem Wasserdampf-Partialdruck Kryo-Baffles zum Schutz von z. B. Turbopumpen vor unerwünschter Kondensation Für die Erzeugung eines ölfreien Hochvakuums stellt eine Kryopumpe oft die beste Lösung dar. Falls in einem Vakuumprozess ein zu hoher Wasserdampf-Partialdruck Probleme bereitet, hilft oft eine Kältefalle. In kleinen Anlagen (z. B. Sputteranlagen oder Clusteranlagen) mit Turbopumpe stellt der MicroStar von RICOR eine unkomplizierte und zuverlässige Lösung dar. Er wird einfach zwischen der Turbopumpe und dem Rezipienten eingebaut. Über seine RS232 Schnittstelle in Verbindung mit der eingebauten Regelelektronik lässt er sich leicht in Anlagensteuerungen integrieren. Den MicroStar gibt es mit Flanschgrößen bis 250 mm in ISO- und CF-Ausführung. Für große Vakuumanlagen, wie Bedampfungsanlagen für die Optik oder Elektronenstrahl-Schweißanlagen, werden meist rezipientenspezifische Kältefallen in Verbindung mit einer externen Kältemaschine eingesetzt. Die TVP Kältemaschinen von TELEMARK Cryogenics gibt mit einer Kälteleistung im Bereich 1000-3600 W. Bei manchen Vakuumprozessen kann es zu unerwünschter Kondensation von Prozessabgasen oder Bestandteilen dieser Gase in den Vakuumpumpen kommen, die schlimmstenfalls zur Zerstörung dieser Pumpen führen kann. In solchen Fällen hilft oft die Installation einer Kältefalle vor den Pumpen, mit deren Hilfe die kondensierbaren Rückstände im Abgas gezielt ausgefroren bzw. kondensiert werden können. Solche Baffles gibt es in unterschiedlichen Varianten und Nennweiten. Die Kühlung kann durch Wasser, Flüssigstickstoff oder eine Kältemaschine erfolgen.