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In unserem Chemielabor optimieren wir Oberflächen- und Reinigungsprozesse, wie etwa dem Elektropolieren, Anodisieren, Beizen oder Ätzen. etg entwickelt neue Prozesse, um den Anforderungen unserer Kunden gerecht zu werden. Blasenlose Kühlkreisbefüllung Bei der Befüllung von Kühlkreisläufen z. B. in komplexen Anlagen im EUVL-Umfeld, wird auf kurze Befüllzeiten wert gelegt, da der Stillstand der Maschinen hohe Produktionsausfallkosten verursacht. Bei der Befüllung ist insbesondere die Zeit relevant, bis das System blasenfrei ist. Um verschiedene Strategien der Befüllung auswerten zu können, werden Teile des Kühlkreislaufs aus durchsichtigen Materialien aufgebaut. Mittels hochauflösender Videozeitrafferaufzeichnung und eigens dafür entwickelter Bildauswertungssoftware können wir die Menge Luftblasen über der Zeit in einem Diagramm darstellen. Unterstützend werden mit Sensoren der Druck an verschiedenen Stellen, der Durchfluss und die Temperatur mit erfasst. Je nach Leitungsführung und verwendeten Wärmetauschern ist bei einer Standardbefüllung keine blasenfreie Befüllung möglich. Es dauert unter Umständen Wochen, bis sich die Restluft in der Kühlflüssigkeit gelöst hat. Durch Optimierung des Pumpenstands / Befüllstrategie ist es möglich, die Blasenmenge um mehr als 90% im Vergleich zu einer Standardbefüllung zu reduzieren.

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