IWH Serie SHD-Dual-Arm und SHD Körper

Für Handhabungen von Wafern bis zu 450 mm Wafer-Handler der Serie SHD-Dual-Arm und Serie SHD Grundkörper werden dort eingesetzt, wo eine höhere bauliche Steifigkeit gefordert ist. Höchste Zuverlässigkeit und Genauigkeit durch integrierte 2-kanalige Vakuumanzeige. Gewicht: ca. 60 kg Wiederholungsgenauigkeit: T: +/- 0,02°/s R: +/- 0,02 mm Z: +/- 0,02 mm Nutzlast: bis zu 3 kg / Arm Max. Geschwindigkeit: T: 250°/s R: 800 mm/s Z: 300 mm/s Netzanschluss: 110 / 230 V AC Schnittstelle: RS-232 [DB9] Ethernet [RJ-45]