Laserabtragen - Laserablation

Der lokale und präzise oberflächliche Werkstoffabtrag dünner Schichten findet Einzug in die unterschiedlichsten Bereiche der industriellen Fertigung. Die Grundlage aller Anwendungsfälle ist ein Abtragsprozess, der durch eine durch kurze, hochenergetische Laserpulse ausgelösten Materialablation gekennzeichnet ist. Dieses Verfahren ist geeigent z.B. für die Herstellung von Stempeln. Dabei werden gütegeschaltete Festkörperlaser eingesetzt, die auch bei Pulswiederholraten einiger kHz noch hohe Pulsleistungen bei ausgezeichneter Strahlqualität bieten. Die typischen Mikrostrukturen weisen bei der Dünnschicht-Strukturierung Breiten von 20-100 µm und abgetragene Schichtdicken von 0,1 - 3 µm auf.