Labor für ToF-SIMS - Flugzeit-Sekundärionen-Massenspektrometrie

Die Sekundärionenmassenspektrometrie (TOF-SIMS) ermöglichst die Messung der atomaren und molekulare Zusammensetzung der obersten 1-3 Monolagen einer Probe. Insbesondere erlaubt sie eine eindeutige Ide Kurzprofil der ToF-SIMS: Nachweis aller Elemente (inkl. Isotope), molekulare Informationen Nachweisgrenze im Bereich von Sub-Monolagen (ppm) Informationstiefe ca. 1-3 Monolagen Laterale Auflösung bis zu 0,3 µm Arbeitet auch Abbildend Quantifizierung ist eingeschränkt möglich (mit Standards) Exemplarische Anwendungsmöglichkeiten: Identifizierung organischer und anorganischer Verbindungen auf Oberflächen Spezifische Informationen von dünnen Schichten bis zu Sub-Monolagen Identifizierung von Kontaminationen Analyse leitender und nichtleitender Oberflächen Erstellung von Tiefenprofilen Abbildung von Lateralverteilungen