Hochtemperatur-Vakuumanlagen mit graphitischem Heizeinsatz und integrierter Gasbehandlung zum
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Entgasen und Reinigen, zum Beispiel von Graphitbauteilen zur Reduzierung des Aschegehalts. Blank- und Spannungsfeinglühen. Recycling von kontaminierten Graphitbauteilen, beispielsweise aus Epitaxieprozessen MOCVD. CVD-Beschichten von Graphit mit Siliziumkarbid (SiC). Sintern. Infiltrieren. Vakuum- und Schutzgaslöten. Mehr zur Technologie

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Vakuumanlagen
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