IWH Serie 1 mit 2-Link-Kompaktarm und Serie 1-Grundkörper 7″
Durch das Baukastensystem sind verschiedene Grundkörper von 7" - 21" Z-Hub, mit vielen verschiedenen Armbaugruppen von 10,5" bis 28" kombinierbar. Für Handhabungsgewichte von bis zu 1 KG möglich.
Wafer-Handler der Serie 1 sind für das Waferhandling konzipiert. Durch das Baukastensystem sind verschiedene Grundkörper von 7" - 21" Z-Hub, mit vielen verschiedenen Armbaugruppen von 10,5" bis 28" kombinierbar. Abhängig von der Kombination der Achsen sind so Handhabungsgewichte bis 1 kg möglich.
Merkmale
wafer-Handling bis zu 200 mm
ausgezeichnete bauliche Steifigkeit und Präzision
höchste Ausfallsicherheit
optional oben montiert (TA) oder unten montiert (BA)
kundenspezifische Anpassungen möglich
inkrementelle Encoder
einfache Anbindung von Prealigner, Linear Track und anderen Peripherien an die Robotersteuerung
inklusive Standard Controller & Software
ISO 1-reinraumkompatibel
MTBF: >70.000 Betriebsstunden
made in Germany
Gewicht: ca. 19 kg
Wiederholungsgenauigkeit: T: +/- 0,02 ° R: +/- 0,02 mm Z: +/- 0,02 mm
Nutzlast: bis zu 1 kg
Max. Geschwindigkeit: T: 360°/s R: 1.000 mm/s Z: 450 mm/s
Netzanschluss: 110 / 230 V AC
Schnittstelle: RS-232 [DB9] Ethernet [RJ-45]