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Das Einsatzhärten im Vakuum führt zu Bauteiloberflächen ohne Randflächendefekte, wie Randoxidation. Durch die nachfolgende Hochdruck- gasabschreckung kann der Bauteilverzug wirksam minimiert werden.

Durch die Hochdruckgasabschreckung mit Helium oder Stickstoff kann der Bauteilverzug und damit die Maß- und Formänderung am Bauteil wirksam minimiert und die Streuung der Verzüge über die Charge deutlich eingeengt werden. Dadurch lassen sich Vormaße i.d.R. reduzieren und es ergibt sich ein deutlich geringerer Hartbearbeitungsaufwand.