P-753 LISA Linearaktor und Positioniertisch
Dynamisch und positionsstabil
Einsatzgebiete
Scanning-Mikroskopie
Messtechnik
Prüfverfahren und Qualitätssicherung
Photonik
Faserpositionierung
Überragende Lebensdauer dank PICMA® Piezoaktoren
Die patentierten PICMA® Piezoaktoren sind vollkeramisch isoliert. Dies schützt sie vor Luftfeuchtigkeit und Ausfällen durch erhöhten Leckstrom. PICMA® Aktoren bieten eine bis zu zehnmal höhere Lebensdauer als konventionelle polymerisolierte Aktoren. 100 Milliarden Zyklen ohne einen einzigen Ausfall sind erwiesen.
Sub-Nanometer-Auflösung mit kapazitiven Sensoren
Kapazitive Sensoren messen kontaktfrei mit Sub-Nanometer-Auflösung. Sie garantieren eine herausragende Linearität der Bewegung, eine hohe Langzeitstabilität und eine Bandbreite im kHz-Bereich.
Hohe Führungsgenauigkeit durch spielfreie Festkörpergelenkführungen
Festkörpergelenkführungen sind wartungs-, reibungs- und verschleißfrei und benötigen keine Schmierstoffe. Ihre Steifigkeit macht sie hoch belastbar und unempfindlich gegen Schockbelastungen und Vibrationen. Sie sind 100 % vakuumtauglich und arbeiten in einem weiten Temperaturbereich.
Höchste Genauigkeit durch direkte Positionsmessung
Bewegungen werden direkt an der Bewegungsplattform ohne Beeinflussung durch Antriebs- oder Führungselemente gemessen. Dies ermöglicht eine optimale Wiederholgenauigkeit, eine hervorragende Stabilität und eine steife, schnell ansprechende Regelung.
Geeignet für anspruchsvolle Vakuumanwendungen
Alle Komponenten, die in Piezosystemen Verwendung finden, sind hervorragend für den Einsatz im Vakuum geeignet. Zum Betrieb sind keine Schmiermittel oder Fette erforderlich. Polymerfreie Piezosysteme erlauben besonders niedrige Ausgasraten.
Höhere Steifigkeit und Dynamik durch PICMA® Direktantrieb
Piezonanopositionierer mit PICMA® Direktantrieb haben keine mechanische Übersetzung. Dies ermöglicht schnelle Ansprechgeschwindigkeiten sowie die höchste erreichbare Steifigkeit und Dynamik im Piezoantriebsbereich.