Aurion Anlagentechnik GmbH

AURION entwickelt und baut Komponenten für die Leistungsversorgung von Plasmasystemen, komplette Systeme zur plasmagestützten Behandlung von Oberflächen Die AURION Anlagentechnik GmbH wurde gegen Ende 1996 von drei Gesellschaftern gegründet. Die Idee, die dieser Firmengründung vorausging, war es, Komponenten und komplette Systeme zur Oberflächenbehandlung herzustellen, welche effizient, kostenreduzierend und umweltverträglich sind. Als Standort für AURION wurde Seligenstadt ausgewählt, eine kleine Stadt einige Kilometer östlich von Frankfurt a. M. direkt an der A3 gelegen. So sind wir leicht per Flugzeug, Zug oder Auto zu erreichen. Momentan beschäftigt AURION 16 hochqualifizierte Ingenieure und Techniker. Geschäftsbereich HF-Komponenten AURION entwickelt und baut Komponenten für die Leistungsversorgung von Plasmasystemen. Hierzu gehören Impedanzanpassungsnetzwerke mit Autotuningeinheit sowie Filter, Schalter, Phasenschieber, Leistungsteiler, Leitungen und Steckverbinder. Der Schwerpunkt liegt im Bereich der Hochfrequenz-Plasmaprozesse bei 13,56 bzw. 27,12 MHz. Auf dem Gebiet der Komponenten liefern wir spezifische, individuelle und qualitativ hochwertige Lösungen ganz nach Kundenanforderung, weshalb einige der größten europäischen Hersteller von Plasma-Beschichtungsanlagen zu unseren Kunden gehören. Aufgrund der großen Erfahrung unserer Mitarbeiter, bieten wir des weiteren sowohl Technologieberatung als auch ein- oder mehrtägige Schulungen auf den Gebieten Plasma- und HF-Technik an. Geschäftsbereich Plasmasysteme Auf dem Know-how aus dem Komponentenbau aufbauend bietet AURION außerdem komplette Systeme zur plasmagestützten Behandlung von Oberflächen an, das heißt sowohl zur Oberflächenreinigung und -modifikation als auch für Beschichtungs- und Ätzprozesse (PVD, PECVD, RIE, Mikrowelle). Basierend auf unserem sehr flexiblen, modularen Anlagenkonzept, bieten wir jedem Kunden eine auf seine speziellen Anforderungen zugeschnittene Lösung. Anwendungen für unsere Systeme sind zum Beispiel die Feinreinigung von Metallteilen und Glas sowie die Vorbehandlung von Kunststoffoberflächen zur Verbesserung der Hafteigenschaften. Weitere Einsatzmöglichkeiten liegen in der Halbleiter-, der Medizin- und der Mikrosystemtechnik, wo unsere Anlagen zur Beschichtung oder zum reaktiven Ionenätzen verwendet werden. Komplette Systeme für die Behandlung von und Beschichtung auf Oberflächen mittels Plasmaprozessen - Aktivierung, Reinigung und Ätzen mit Atmosphärendruckplasma, Reaktivem Ionenätzen (RIE) und Mikrowellen Downstream Plasma - Beschichtung durch Physical Vapour Deposition (PVD, Sputtern) und Plasma Enhanced Chemical Vapour Deposition (PECVD) Hochfrequenztechnische Komponenten - Automatische Impedanzanpassungsnetzwerke (Matchboxen) - Schalter - Filter - Power Splitter - Phasenschieber - Übertragungsstrecken und Verbindungen - HF Generatoren - Messtechnik Das Team von Aurion bietet seine jahrelange Erfahrung auf den Gebieten Plasma- und Hochfrequenztechnik für Beratungsdienstleistungen und im Rahmen von Schulungen an.