Massedurchflussregeltechnik

Für die genaue Regelung beliebiger Prozesse ist ein präzises Messen der Vorgänge erforderlich, die erlangten Informationen dienen der Aufrechterhaltung eines zielgerichteten und produktiven Prozesses. Für die genaue Regelung beliebiger Prozesse ist ein präzises Messen der Vorgänge erforderlich — in der Zuleitung, in der Prozesskammer, an jedem Punkt — die erlangten Informationen dienen der Aufrechterhaltung eines zielgerichteten und produktiven Prozesses in Echtzeit. Als global führendes Unternehmen in der Präzisionsmessung und -regelung der Prozessmedien hat Brooks Instrument über Jahrzehnte Innovationen in die thermische Massedurchflusstechnologie eingeführt. Die kontinuierliche Vorstellung neuer Produkte und Verbesserungen bestehender Systeme erschloss neue Stufen der Präzision, Ansprechempfindlichkeit, Genauigkeit und Wiederholbarkeit für den thermischen Massedurchfluss. Wesentliche Gründe, warum unsere Massedurchflussgeräte die weltweit weiteste Verbreitung und Verwendung finden: Das beste auf die Industrie zugeschnittene Produktportfolio zur Erfüllung der umfangreichsten Anforderungen. Gasart- und Bereichswechsel in einem Gerät sowie Verbesserung der gegebenen Prozessgasgenauigkeit. Dank der innovativen MultiFlo™ Technologie ist dafür kein entfernen des Geräts aus dem System erforderlich. Umfassendes Produktportfolio mit sowohl elastomergedichteten als auch metallgedichteten Geräten. Für die Anforderungen der Dünnschicht-, Halbleiter- und sonstigen Hightechindustrien entwickelte ultrareine Geräte. WESENTLICHE ANWENDUNGEN: Werkzeuge zur Halbleiter- und LED-Herstellung, Dünnschichtabscheidungssysteme, Bioreaktoren in Pharmabereichen, Pilotanlagen für Gase und Flüssigkeiten in Chemie und Petrochemie, Spülgas, Prozessanalyse und analytische Durchflussmessung.