Pulsgeneratoren - Plasmageneratoren

BIPOLARE PULSSTROMVERSORGUNGEN DER SERIE MAGPULS BP Die bipolaren Pulsstromgeneratoren dienen zur Plasmaanregung auf höchstem Niveau. Mit ihrem modularen Aufbau bestehen sie aus der DC-Leistungseinheit und der nachgeschalteten bipolaren Pulseinheit, welche die Spannung mit einer frei einstellbaren Pulsfrequenz mit wechselnder Polarität auf das Plasmasystem schaltet. Mit einem Leistungsbereich von 1kW bis zu 600KW und dem einstellbaren Frequenzbereich von DC bis zu 100kHz bieten diese Pulsstromgeneratoren ein flexibles Angebot für alle Sputteranwendungen sowie höchst anspruchsvolle Plasma-CVD- und PVD-Prozesse. Im Gegensatz zu vielen MF-Generatoren kommen die MAGPULS BP Generatoren ohne zusätzliche Anpassungsnetzwerke aus. Das hocheffiziente ARC-Management lässt sich für jeden Beschichtungsprozess optimal einstellen, wodurch Schichtdefekte an der zu behandelnden Werkstoffoberfläche wirksam vermieden werden. Sämtliche Puls- und Leistungsparameterwerte lassen sich über das übersichtliche Grafik-Display einstellen und ablesen. Selbstverständlich können diese Pulsstromversorgungen über eine Rechnerschnittstelle oder optional über Profibus durch einen externen Rechner gesteuert werden.