Membranen

Als Membran bezeichnen wir eine dünne Schicht aus einem Material, das eine sonst freie Fläche überspannt. Wir können Membranen aus Kunststoff, Dielektrika, Metall oder Silizium fertigen. Es ist einerseits möglich Membranen anzufertigen, die selbst strukturiert sind oder darauf weitere Strukturen aufzubringen. Typische Eigenschaften von Membranen sind, dass sie eine sehr hohe Transmission für Strahlung besitzen, die sie als Vollmaterial absorbieren würden. Außerdem besitzen Membranen eine geringe thermische Leitfähigkeit sowie Wärmekapazität. Daher eignen sich Membranen gut als Träger für Elemente, die möglichst schnell ihre Temperatur ändern sollen, wie zum Beispiel thermische Emitter oder Sensoren. Darüber hinaus können Membranen aus bestimmten Materialien eine Durchlässigkeit für Gase oder Flüssigkeiten besitzen. Anwendung: Aufgrund der geringen Wärmekapazität, die Membranen aufweisen, eignen sie sich sehr gut zur Realisierung schneller thermischer Sensoren, sowie thermischer Strahler. Weitere Anwendungsgebiete sind die Optik, die Röntgenoptik und die Elektronenoptik, wo Membranen als transparenter Träger optischer Elemente wie Blenden oder Gitter dienen können. Spezifikationen: Material: Polyimide, SU-8, Si3N4, Si, Metalle Dicke: wenige nm bis mehrere 100 µm Fläche: bis einige cm²