Mikrospitzen

Unser Technologie Know-how in der Herstellung von Mikrospitzen ermöglicht die Realisierung von Spitzen mit unterschiedlichsten Funktionen. So können wir Mikrospitzen aus elektrisch leitfähigem Silizium oder optisch transparenten Dielektrika fertigen. Abhängig vom verwendeten Material und Herstellungsprozess können Spitzenradien von wenigen Nanometern erreicht werden. Über die einfache Spitze hinaus sind wir in der Lage die Mikrospitzen mit zusätzlichen Ummantelungen zu versehen, die wir dann am vorderen Ende wieder öffnen. Dadurch können wir zum Beispiel optisch transparente Spitzen herstellen, die eine Austrittsöffnung für das Licht haben, die deutlich kleiner als die Lichtwellenlänge ist. Außerdem können elektrisch leitfähige Spitzen hergestellt werden, die eine elektrische Abschirmung besitzen. Anwendung: Durch Kombination mit weiteren Prozessen können wir Mikrospitzen zum Beispiel auch auf dünnen Cantilevern fertigen, die dann als Sensoren in der Rastersonden­mikroskopie eingesetzt werden können. Durch die geringen Spitzenradien erreicht man bei Anlegen einer elektrischen Spannung sehr hohe Feldstärken, wodurch sich Anwendungen im Bereich elektrischer Feldemitter ergeben. Auch die Möglichkeit die Spitzen mit einer zusätzlichen Ummantelungselektrode zu versehen, bietet Einsatz­möglichkeiten in der Elektronenoptik.