P-616 NanoCube® Nanopositionierer

Kompaktes parallelkinematisches Piezosystem für die Nanopositionierung und Faserjustage Hochdynamischer Mehrachsbetrieb durch Parallelkinematik In einem parallelkinematischen Mehrachssystem wirken alle Aktoren auf eine gemeinsame Plattform. Dadurch können die dynamischen Eigenschaften der Achsen identisch ausgelegt und die bewegte Masse stark reduziert werden. Die Fehler und Massen der einzelnen Achsen addieren sich nicht auf. Die minimale Massenträgheit erlaubt eine hohe Dynamik aller Achsen. Überragende Lebensdauer dank PICMA® Piezoaktoren Die patentierten PICMA® Piezoaktoren besitzen eine vollständig keramische Isolierung. Somit sind sie vor Luftfeuchtigkeit und Ausfällen durch erhöhten Leckstrom geschützt. Verglichen mit polymerisolierten Multilayer-Piezoaktoren ergibt sich eine zehnmal längere Lebensdauer. In Tests wurden über 100 Milliarden Zyklen ohne einen einzigen Ausfall nachgewiesen. Hohe Führungsgenauigkeit durch spielfreie Festkörpergelenkführungen Festkörpergelenkführungen sind wartungs-, reibungs- und verschleißfrei und benötigen keinerlei Schmierstoffe. Durch ihre Steifigkeit sind Festkörpergelenke (Flexures) hoch belastbar und unempfindlich gegen Schockbelastungen und Vibrationen. Festkörpergelenkführungen sind 100 % vakuumkompatibel und arbeiten in einem weiten Temperaturbereich. Sub-Nanometer-Auflösung mit kapazitiven Sensoren Kapazitive Sensoren arbeiten berührungslos nach dem Prinzip der Direktmetrologie. Positionsgeregelte Positioniersysteme mit kapazitiven Sensoren erreichen eine herausragende Linearität der Bewegung, eine hohe Langzeitstabilität und eine steife, schnell ansprechende Regelung. Störungen von außen werden vom Sensor unmittelbar erkannt und zurückgemeldet. Automatische Konfiguration und schneller Komponentenaustausch Die D-Sub-Stecker enthalten ID-Chips mit allen Servo- und Linearisierungsparametern. Die Auto-Calibration-Funktion der Digitalcontroller verwendet diese Daten automatisch und ermöglicht dadurch beliebige Kombination und problemlosen Austausch von Piezomechanik und Controller. Einsatzgebiete Faserjustage Mikroskopieanwendungen 2-Photonen-Polymerisation Nanotechnologie und Nanofertigung