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– a specified plane used as a reference for measuring flatness or bow of the wafer. site flatness – the TIR or FPD measured at a specific location on the wafer surface within the flatness quality area. TIR (Total Indicator Reading) – the maximum deviation of the wafer surface from a specified reference plane, including both positive and negative deviations.

Schlagworte

SOI (Silicon on Insulator)-Wafer
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Si-Mat - Silicon Materials e.K.

Viktor-Frankl-Strasse 20, Kaufering 86916
Deutschland
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Lieferung: Weltweit
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Mitarbeiter: 1-4
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DIN EN ISO 9001:2015
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