Die am meisten angewandte Form der Oberflächenbehandlung mit dem Elektronenstrahl. Die Oberflächenmodifikation kann bei härtbaren Stählen oder Gusseisen, welche entweder vollständig in der Festphase (ohne jedes Anschmelzen) oder auch über die Flüssigphase (mit Anschmelzen der Oberfläche) ablaufen. Durch den Wärmeeintrag wird das Gefüge austenitisiert und durch die anschließende Selbstabschreckung (ohne Fremdmedium) Martensit gebildet. Das Härten mit der Elektronenstrahl-Technik ist ein Kurzzeitprozess.
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