XY Stage / Kreuztisch (Positioniersystem)

XY Präzisions-Kreuztische, Hub 25 - 450 mm, Repro bis 0.2 µm, Last bis 30 kg, Speed bis 1400 mm/s In X- und Y-Richtung Sollte Ihre Applikation die Positionierung in X und Y Richtung erfordern, bieten wir Ihnen mit unseren Kreuztischen die perfekte Lösung – mit und ohne Durchlichtfunktion. Hochpräzise Ablaufwerte Unsere hochpräzisen Kreuztische sind universell einsetzbar und entsprechen mit ihren Ablaufwerten den speziellen Anforderungen, die gerade in der Inspektion für Reinraumanwendungen von höchster Bedeutung sind. Anwendungen Präzisionsscannen, Labor und Forschung, Zuführachsen für die Probenpositionierung, Laser, Inspektion, AOI, Halbleiter sowie Messtechnik Produktvarianten - Verfahrweg von 25 - 450 mm - Wiederholgenauigkeit bis 0.2 µm - Geschwindigkeit von 10 - 1400 mm/s - Last 0.5 - 30 kg - Motoren: AC Servo, DC-Motor, Linearmotor, Piezo Motor, Schrittmotor - Mit oder ohne Durchlicht / Apertur Optionen - kundenspezifische Adapter, Bohrungsraster, Kabel / Stecker - Varianten Reinraum: bis Reinraum Klasse ISO 6 (höher auf Anfrage) - Varianten Strahlung: UV, DUV, EUV (Röntgen, Gamma auf Anfrage) - Varianten Magnetismus: magnetisch, magnetarm, magnetfrei - Varianten Vakuum: bis 10E-11 mbar (höher auf Anfrage)