Planetary für die PVD Beschichtung

Um die Werkstücke gleichmäßig zu beschichten, müssen diese entsprechend an die einzelnen Verdampfer vorbeigeführt werden. Das drehende Planetary alleine erreicht diese Gleichmäßigkeit nicht. Die Werkstücke müssen sich zusätzlich um Ihre eigene Achse drehen. Das Verhältnis zwischen Rotation des Planetarys und der Werkstücke hat großen Einfluß auf das Ergebnis. Das Planetary wird über eine Schiene auf einem Chargierwagen gefahren, welches ein bequemes Be- und Entladen ermöglicht. Die Shieldings sind als Segmente gebaut und ermöglichen kurze Wartungszeiten, die Planeten verfügen über ein Schnellwechsel-System.