Kompaktanlage Pandora
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Die Kompaktanlage Pandora ist ein hochpräzises und gekapseltes 3D Meßsystem zur berührungslosen Erfassung von Topographien und Profilen. Zur Meßwerterfassung dienen die optischen Sensoren der OPM GmbH. Sie erlauben die direkte Vermessung von Strukturgrößen bis zu einer Höhe von 1.0 mm und einer Auflösung bis zu 7.5 nm. Die integrierte Farbkamera und einem Bildfelddurchmesser von 8mm und Beleuchtung rundet die Ausstattung ab. Das Softwarepaket Inspector ermöglicht eine umfangreiche Analyse der aufgenommenen Meßdaten.

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