Weißlichtinterferometer WLI

Das Weißlichtinterferometer WLI ist zur berührungslosen Messung superglatter bis moderat strukturierter technischer Oberflächen vorgesehen. Eine breite Auswahl an Objektiven mit Vergrößerungen zwischen 2.5x und 100x sowie Implementierung unterschiedlicher Auswerteverfahren überdecken einen breiten Applikationsbereich zwischen mikroskopischen und makroskopischen Applikationen. In Verbindung mit dem integrierten Piezoversteller sind Meßbereiche bis 400 µm und Auflösungen im sub-nm Bereich möglich. Das Interferometer kann als OEM-Komponente eingesetzt werden, oder bildet in Verbindung mit unseren Meßständern Hyperion, Enceladus und Titan ein preisgünstiges und flexibles Meßsystem.