Komponentenanlage Titan

Die Komponentenanlage Titan beruht auf dem in Optik und Physik weit verbreiteten Breadboardaufbau. Die Wabenkonstruktion des Breadboard verbindet dank der integrierten Wabenstruktur herausragende Stabilität mit geringem Gewicht, speziell bei Tisch- und Großgeräten. Montagebohrungen im Rastermaß sowie eine Vielzahl standardisierter Komponenten ermöglichen Aufbau und Ausstattung nach Maß. Standardkomponenten gewährleisten ein unübertroffenes Qualitätsniveau, Preis-Leistungsverhältnis und Lieferverfügbarkeit speziell bei Sonderkonstruktionen. Zur Meßwerterfassung stehen die optischen Sensoren der OPM GmbH zur Verfügung. Sie erlauben die direkte Vermessung von Strukturgrößen bis zu einer Höhe von 1.5 mm, in Verbindung mit der optionalen motorisierten Z-Achse bis in den cm-Bereich und einer Auflösung bis zu 10 nm, beim Interferometer bis in den sub-nm Bereich. Das Softwarepaket Inspector ermöglicht eine umfangreiche Analyse der aufgenommenen Meßdaten.