Verdampfersystem für 2 oder mehr Precursor
Verdampfersystem für 2 oder mehr Precursor

Verdampfersystem für 2 oder mehr Precursor

Geschäftsführung:
Peter Probst

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Sollen für einen Abscheideprozess mehrere Elemente abgeschieden werden die als Flüssigkeit vorliegen, so können die Verdampfersysteme auch für 2 oder mehrere flüssige Precursor ausgelegt werden. 2 oder mehr Verdampfern die in einem System integriert sind werden dann auch von einer gemeinsamen Steuerung betrieben und überwacht. Auch hier besteht die Möglichkeit aus 1 Verdampfer mehrere Verbrauchsstellen zu versorgen. Zusammen bietet dies gegenüber anderen Konstruktionen die Möglichkeit zum Einsparen von Bauteilen, Steuerungselementen und Montageraum. In der Summe wird man damit die Kosten senken.

Schlagwörter

Verdampfer
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