Galerie Verdampfer für einen Precursor (zum Öffnen bitte anklicken)
Die Medien die bei einem CVD Prozess zum Einsatz kommen liegen häufig als Gas vor und können somit einfach über Durchflussregler dosiert werden. Für die Abscheidung bestimmter Schichten liegt das zur Abscheidung erforderlich Element als Flüssigkeit vor. Hier kommen Verdampfersysteme für einen Precursor zum Einsatz.
Zu den besonderen Merkmalen der Verdampfersysteme gehört neben der Möglichkeit der Verdampfung ohne Trägergas die Möglichkeit aus einem Verdampfer mehrere Verbraucher zu versorgen. Es können entweder mehrere Prozesskammern gleichzeitig versorgt werden oder an einer Prozesskammer an verschiedenen Punkten Precursor-Dampf eingespeist werden. Eine weitere Option ist die Integration von 2 Verdampfern in einem System mit einer gemeinsamen Steuerung.
Die Möglichkeit aus 1 Verdampfer mehrere Verbraucher zur versorgen bietet gegenüber anderen Konstruktionen die Möglichkeit zum Einsparen von Bauteilen, Steuerungselementen und Montageraum. In der Summe kann man damit die Kosten senken.
Sollen für einen Abscheideprozess mehrere Elemente abgeschieden werden die als Flüssigkeit vorliegen, so können die Verdampfersysteme auch für 2 oder ...
Herstellung von Versorgungssystemen
Versorgungssysteme dienen der sicheren Versorgung von Verbrauchern wie Flüssigdosiersystemen oder Verdampfersyste...
Gasmischer für verschiedene Gase. Einspeisung mit Kontaktmanometern zur Anzeige bei Gasmangel.
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Gasmischsysteme gibt es in vielen unterschiedlichen Ausführungen. Das kann ein Gasmischer für 2 Gase sein um ein Schutzgas oder Formiergas, synthetisc...
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Gasdosiersysteme für Reinstgase werden immer dann eingesetzt, wenn besonders hohe Anforderungen an ...
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