SIGA entwickelt und baut Systeme zum Dosieren von Gasen und flüssiger Precursor – ganz nach Ihren Vorgaben: Ob für 1, 2 oder viele Gase und Precursor. Einschließlich Steuerung mit Hard- und Software.
SIGA entwickelt und baut kundenspezifische Systeme zum Messen, Regeln und Steuern von Gasflüssen und zum Verdampfen und Dosieren flüssiger Precusor ergänzt von Precursor Versorgungssystemen.
Mit unseren Gassystemen können Sie ein Gas oder viele Gase oder Precursor dosieren und diese einer oder mehreren Gebrauchsstellen zuführen. Ergänzt werden die Systeme von einer rechnergestützten Steuerung mit Hard- und Software.
Die Auslegung erfolgt nach Ihren Wünschen auf der Grundlage unserer Erfahrung.
Wir bieten u.A. Precursor Verdampfersysteme & Versorgungssysteme, Brennersysteme, Aktivkohlefilter-Konditioniersysteme
Zum Einsatz kommen Massenflussregler MFCs, Ventile, Filter, Drucksensoren, Temperaturfühler, etc. Anwendungsgebiet ist überall dort wo Gase in Fertigungsprozessen eingesetzt werden, z.B. zum Abscheiden dünner Schichten CVD.
Zertifikat DIN EN ISO 9001:2015
Systeme von SIGA
•Precursor Verdampfer ◦Verdampfer für einen Precursor
◦Verdampfer für 2 oder mehr Precursor
◦Flüssigdosierung mit
anschliessender Verdampfung
•Precursor Versorgungssysteme
•Gasmischsysteme
•Reinstgassysteme
•AKF-Beladestationen
•Brennersysteme
Sollen für einen Abscheideprozess mehrere Elemente abgeschieden werden die als Flüssigkeit vorliegen, so können die Verdampfersysteme auch für 2 oder ...
Herstellung von Versorgungssystemen
Versorgungssysteme dienen der sicheren Versorgung von Verbrauchern wie Flüssigdosiersystemen oder Verdampfersyste...
Gasmischer für verschiedene Gase. Einspeisung mit Kontaktmanometern zur Anzeige bei Gasmangel.
Gasmischsysteme gibt es in vielen unterschiedlichen Au...
Die in einem Kraftfahrzeug (KFZ) mit Benzinverbrennungsmotor eingesetzten AKF Aktivkohlefilter werden entsprechend den USA Regelwerken CARB und EPA un...
Gasmischsysteme gibt es in vielen unterschiedlichen Ausführungen. Das kann ein Gasmischer für 2 Gase sein um ein Schutzgas oder Formiergas, synthetisc...
Herstellung von Gasdorsiersystemen für Reinstgase
Gasdosiersysteme für Reinstgase werden immer dann eingesetzt, wenn besonders hohe Anforderungen an ...
System zur Simulation von Schadstoffen in der Luft. Wird zum Testen von Atemluftfiltern eingesetzt.
Gasmischsysteme gibt es in vielen unterschiedlich...
In einem Brennersystem werden 2 Gase dosiert, zum einen das Brenngas selber, hier in der Regel Wasserstoff, Propan oder Methan und als Nährgas Sauerst...
Galerie Verdampfer für einen Precursor (zum Öffnen bitte anklicken)
Die Medien die bei einem CVD Prozess zum Einsatz kommen liegen häufig als Gas vor ...